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Tailored star-shaped statistical teroligomers via ATRP for lithographic applications

DOI zum Zitieren der Version auf EPub Bayreuth: https://doi.org/10.15495/EPub_UBT_00004763
URN zum Zitieren der Version auf EPub Bayreuth: urn:nbn:de:bvb:703-epub-4763-8

Titelangaben

Wieberger, Florian ; Forman, Drew C. ; Neuber, Christian ; Gröschel, André H. ; Böhm, Marietta ; Müller, Axel H. E. ; Schmidt, Hans-Werner ; Ober, Christopher K.:
Tailored star-shaped statistical teroligomers via ATRP for lithographic applications.
In: Journal of Materials Chemistry. Bd. 22 (2012) Heft 1 . - S. 73-79.
ISSN 0959-9428
DOI der Verlagsversion: https://doi.org/10.1039/c1jm11922b

Angaben zu Projekten

Projekttitel:
Offizieller Projekttitel
Projekt-ID
Komplexe Makromolekül- und Hybridsysteme in inneren und äußeren Feldern
SFB 481

Projektfinanzierung: Deutsche Forschungsgemeinschaft

Abstract

series of five star-shaped teroligomers consisting of a saccharose core, and arms, composed of α-gamma butyrolactone methacrylate (GBLMA), methyl adamantyl methacrylate (MAMA) and hydroxyl adamantyl methacrylate (HAMA) with defined arm length and number of arms were prepared via the core-first atom transfer radical polymerization (ATRP) route. The saccharose core was modified with ATRP initiating sites and non-reactive sites, enabling the synthesis of star polymers with a smaller arm number but identical core. Star teroligomers were synthesized with narrow molecular weight distributions with low polydispersity indices (PDIs < 1.1) showing negligible side reactions only at higher conversions of Xp > 50%. The absence of side reaction and the precise achievement of the target molecular weight indicated excellent control over the reaction. A selected star-shaped teroligomer was investigated for the first time as a photoresist material. The delicate conditions of the lithographic process were optimized by a combinatorial approach. The obtained low line edge and line width roughness of the observed pattern demonstrate the potential of the star architecture for this application.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Zusätzliche Informationen (öffentlich sichtbar): ISI:000297598400009
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Ehemalige ProfessorInnen > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I - Univ.-Prof. Dr. Hans-Werner Schmidt
Forschungseinrichtungen > Zentrale wissenschaftliche Einrichtungen > Bayreuther Institut für Makromolekülforschung - BIMF
Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen > SFB 481 Komplexe Makromolekül- und Hybridsysteme in inneren und äußeren Feldern
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Zentrale wissenschaftliche Einrichtungen
Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Ehemalige ProfessorInnen
Sprache: Englisch
Titel an der UBT entstanden: Ja
URN: urn:nbn:de:bvb:703-epub-4763-8
Eingestellt am: 09 Sep 2020 09:57
Letzte Änderung: 09 Sep 2020 09:57
URI: https://epub.uni-bayreuth.de/id/eprint/4763

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